大家好,小胖来为大家解答以上问题。清洗后的硅片怎么保存,清洗后的硅片如何保存很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
解答:
1、 单晶片和外延晶片的保存;抛光后的单晶片或外延片可以放入同样大小的小塑料袋中,一袋一个,或者两个背靠背。然后,可以将小塑料袋折叠起来,放入一个定制大小的纸箱中。盒子上部多余的空间用一小袋硅胶覆盖,防止受潮。盒盖合上后,在盒盖表面写上批号、型号、存放时间、数量。
2、 使用单晶片和外延片时,只需按要求从仓库中取出,然后小心翼翼地从塑料袋中取出硅片,放入化学瓷坩埚中进行化学清洗,最后用去离子水冲洗干净,晾干即可。
3、 如果是融化存放的小芯片,用小烧杯或玻璃培养皿超声波清洗后晾干即可。干燥后,如果短时间存放,直接放在干净的玻璃培养皿内盖上,然后放入带磨口的玻璃干燥器中。
4、 干燥后,如果存放时间较长,在干净的玻璃培养皿中放一层定性滤纸,然后在定性滤纸上放一层小芯片,表面覆盖一层干净的定性滤纸,再放一层小芯片。反正这是交替叠放,直到装满,最后盖上配套的玻璃培养皿,放入带磨口的玻璃干燥器或真空干燥箱中保存。
5、 使用小芯片时,只需取出用丙酮——乙醇超声波机清洗干净,再用去离子水冲洗干净,晾干即可。
本文到此结束,希望对大家有所帮助。
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